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終端純化器POU:

可對原料氣中的O2、CO2、H2O等雜質進行純化,脫氧純度高?煞祻S再生。

It can purify O2, CO2, H2O and other impurities in feed gas with high deoxidation purity. It can be returned to the factory for regeneration.

5N7N系列常規型號一覽表  List of 5N → 7N series conventional models

適用氣體Applicable gas

N2、H2、O2、Ar、He

處理量

Processing capacity

5 L/min

10 L/min

20 L/min

50 L/min

100 L/min

150 L/min

200 L/min

長度length

150 mm

250 mm

300 mm

550 mm

600 mm

850 mm

1000 mm

直徑diameter

2’

2’

2.5’

3’

4’

4’

4’

使用壓力

Service pressure

1.0Mpa

 

最大氣體壓差Maximum gas pressure difference

0.1 Mpa

/出氣口接頭

Air inlet / outlet connector

VCR / LOK

純化指標

 Purification index

單項雜質<10ppb

 Single impurity <10ppb

使用壽命

Service life

> 六個月(可返廠再生)

> Six months (renewable)

可根據客戶要求,定制特殊型號產品。

According to customer's requirements, we can customize special model products.

6N8N系列常規型號一覽表  List of 6N → 8N series conventional models

適用氣體

Applicable gas

N2、H2、O2、Ar、He

處理量

Processing capacity

20 L/min

50 L/min

100 L/min

200 L/min

300 L/min

500 L/min

1000 L/min

長度length

150 mm

250 mm

300 mm

500 mm

550 mm

500 mm

950 mm

直徑diameter

2’

2’

2.5’

2.5’

3’

4’

4’

使用壓力

Service pressure

1.0Mpa

最大氣體壓差

Maximum gas pressure difference

0.1 Mpa

/出氣口接頭

Air inlet / outlet connector

VCR

純化指標

 Purification index

單項雜質<1ppb

 Single impurity <1ppb

 

使用壽命

Service life

>六個月(可返廠再生)

> Six months (renewable)

可根據客戶要求,定制特殊型號產品。

According to customer's requirements, we can customize special model products.


 
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